三氟化氮檢測儀是一種用于連續監測工業(yè)環(huán)境中三氟化氮(NF3)氣體濃度的重要安全設備。這種裝置特別適用于半導體制造、平板顯示器生產(chǎn)、光纖和光伏電池制造等高科技行業(yè)，這些領(lǐng)域在生產(chǎn)過(guò)程中廣泛使用三氟化氮作為等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑。
1.選擇安裝位置：
安裝位置應選擇在可能的泄漏源附近，確?？焖贉蚀_的檢測到三氟化氮泄漏。
設備應安裝在避免直接日光、雨水、以及強電磁干擾的環(huán)境中。
安裝高度應考慮到三氟化氮比空氣重的特性，通常建議在泄漏源附近的較低位置或地面上方1米左右的位置進(jìn)行安裝。
2.確定安裝方式：
固定式三氟化氮檢測儀支持多種安裝方式，包括管道式、壁掛式等。選擇適合特定環(huán)境的安裝方式。
對于管道式安裝，確保管道與探測器連接緊密無(wú)泄漏，工作壓力需保持在大氣壓的±30%范圍內。
3.電氣連接與電源要求：
確保電源供應穩定，符合設備的電壓和電流要求。一般工作電壓為12~36V直流電。
連接電纜應選擇符合RS485或4～20mA標準的信號傳輸線(xiàn)材，并注意屏蔽效果，以減少外部干擾。
4.防爆與安全認證：
確認所選設備符合相應的防爆標準，如隔爆型ExdⅡCT6，確保在潛在爆炸性環(huán)境中安全使用。
設備及其所有部件均應通過(guò)必要的安全認證，如CE認證、ROHS指令等。
5.功能測試與校驗：
安裝完成后進(jìn)行功能測試，驗證報警、顯示和其他功能是否正常。
根據制造商的指導手冊進(jìn)行設備的定期校準和維護，以確保持續準確的監測效果。
聯(lián)系人：何經(jīng)理
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